RIX半導體設備用旋轉接頭 可供應純水 MS3P系列

RIX半導體設備用旋轉接頭 可供應純水 MS3P系列

規(guī)格：

適用流體：純水、空氣 、真空
最大壓力 ：-0.095～0.6MPa
最大通路：5
最大轉速：800min-1
主要途徑與其特點：

在旋轉托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應用端設備對象：精磨/粗磨、CMP裝置

我司主打品牌明細表：

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化學品：SHINETSU 信越化學、THREEBOND 三鍵、TOAGOSEI 東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西、

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FA自動化: KONSEI 近藤、 CKD喜開理 、 IMAO今尾、二宮電線NINOMIYA、TAIYO太陽電線、TONE 前田、EYE巖崎、S-VSNAS、AND、microStone品牌 、USHIO牛尾、ETOH江藤 、SONOFILE松泰克、SUZUKI鈴木 、MIRAI未來工業(yè)、COSMOS新宇宙（SDM-72、SDM-73）、KETT凱特、FUNATECH船越龍、SEN日森、CHUCK小林鉄工、SAKAGUCHI坂口電熱、帝國TEIKOKU、仲精機NAKASEIKI、

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機